国产离子注入机实现28nm工艺制程全覆盖

发布时间：2023-07-01 13:03:46 所属栏目：数码来源：

导读：中国电科旗下电科装备已实现国产离子注入机28纳米工艺制程全覆盖，有力保障我国集成电路制造行业在成熟制程领域的产业安全。

据悉，离子注入机是芯片制造中的关键装备，当前，28纳米是芯片应用领域中覆盖面最广的

中国电科旗下电科装备已实现国产离子注入机28纳米工艺制程全覆盖，有力保障我国集成电路制造行业在成熟制程领域的产业安全。

据悉，离子注入机是芯片制造中的关键装备，当前，28纳米是芯片应用领域中覆盖面最广的成熟制程。

在芯片制造过程中，需要掺入不同种类的元素按预定方式改变材料的电性能，该元素被加速至规定的能量并以带电的离子形式注入至具体半导体材料,离子注入器是芯片制造装置中执行该掺杂处理的手段。

此次，电科装备连续突破光路、控制、软件等关键模块的核心技术，形成中束流、大束流、高能及第三代半导体等全系列离子注入机产品格局，实现了28纳米工艺制程全覆盖。

如今，电科装备的百台设备广泛应用于国内各大集成电路先进产线，累计流片2000万片。

（编辑：汽车网）

【声明】本站内容均来自网络，其相关言论仅代表作者个人观点，不代表本站立场。若无意侵犯到您的权利，请及时与联系站长删除相关内容!